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inficon高溫壓力計CDG160D功能簡(jiǎn)介
點(diǎn)擊次數:227 更新時(shí)間:2024-07-01
 

德國inficon高溫壓力計CDG160D

 

inficon高溫壓力計CDG160D功能簡(jiǎn)介:

INFICOSKY CDG160D 高溫壓力計是實(shí)現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 真空計溫度控制在 160 °C,具有性能,適用于苛刻的半導體和等離子過(guò)程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現場(chǎng)總線(xiàn)接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的對數壓力信號。INFICO電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時(shí)間短和使用壽命長(cháng)等諸多優(yōu)勢。INFICOCDG 壓力傳感器品質(zhì),成本效益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

inficon高溫壓力計CDG160D優(yōu)點(diǎn)

擁有成本更低,預熱速度快 50%,節能,低功耗

易于集成,各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口,標配兩個(gè)設定點(diǎn)

輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點(diǎn)偏移

診斷端口便于快速服務(wù)與維護

兩年保修服務(wù)、加熱概念和真空計保護延長(cháng)了使用壽命

卓信號穩定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子應用,都無(wú)需長(cháng)期執行重新校準

合規和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

inficon高溫壓力計CDG160D典型應用

ü ECT、CTD、PVD和其他半導體生產(chǎn)工藝

ü 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程

ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀表保護

inficon高溫壓力計CDG160D規格

準確性閱讀%:0.4

精度%0.003

輸出信號(模擬)V (dc)0.. +10

響應時(shí)間30ms

暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI?O?), stainless steel (AISI 316L )


 
聯(lián)系方式
  • 86-411-87187730

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