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| inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規 BPG552 |
| 點(diǎn)擊次數：730 更新時(shí)間：2024-03-19 |
inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規 BPG552
inficon熱電離真空計BPG552技術(shù)特點(diǎn)： 對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的應用，Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 儀表。BPG552 由 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經(jīng)典、堅固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復性和使用壽命。 inficon熱電離真空計BPG552優(yōu)點(diǎn) ü 雙量規（2 個(gè)傳感元件）可實(shí)現寬測量范圍、降低成本并節省空間 ü Bayard-Alpert 系統的 2 根燈絲 ü 皮拉尼聯(lián)鎖保護以避免燈絲過(guò)早燒毀 ü 自動(dòng)高真空皮拉尼調節減少了操作員干預 ü 電隔離電子器件以避免雜散電流 ü 滑動(dòng)排放模式可避免切換排放流時(shí)壓力跳躍和凍結 ü 由于可拆卸校準數據芯片，可烘烤性更長(cháng) ü 設定點(diǎn)繼電器 ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶(hù)界面 ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT® ü 可與 VGC50x 控制器系列結合使用 ü 向后兼容 BPG402 ü RoHS 合規性 inficon熱電離真空計BPG552典型應用 · 半導體工藝中的壓力測量 · 工業(yè)涂料 · 低至真空范圍系統的一般真空測量和控制 inficon熱電離真空計BPG552規格 測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2） 5×10 -10 … 1000 毫巴 準確性 1×10 -8 … 1×10 -2毫巴 ±15 讀數 1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴 讀數的±30% 重復性：讀數的 5%，10 -8 … 10 -2 mbar（穩定 10 分鐘后） 暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢 inficon熱電離真空計BPG552備件零件號 描述 354-420 BPG552 備用傳感器頭，KF25 354-421 BPG552 備用傳感器頭，CF40 |
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